（1）为防止起火和燃烧，便利疏散与抢救，对防火墙间大允许占地面积和防火分隔以及疏散路线等，一般应比其他建筑有更高的要求。出入口或拐弯处应有紧急照明灯。
（2）洁净厂房内不得使用明火加热，采用电加热的必须密闭，并严格控制加热温度。各种加热装置均应安装在不燃基座上。
（3）有易燃、易爆物品的洁净厂房、电气要符合防爆要求;电气敷设和安装要从严要求，暗敷的电线当中不得有接头。对电气设备要经常维修，用后及时切断电源。对需要长开的电气设备，下班后应有人巡逻检查。
(4)洁净厂房内易燃、易爆物品只限于当班用，下班后对剩余的易燃、易爆物品应存放人其他安全场所。
（5)使用易燃液体和气体的洁净厂房，应安装排风设备，操作台应有独立的排风装置。易燃液体蒸气和气体的尾气管应与排风系统分开。
(6)洁净厂房的排风系统。应设置调节阀、止回阀或密闭阀。总风管穿过楼板和风管穿过防火墙处，必须设置防火阀。
（7)洁净厂房应有比较完善的消防设施。洁净室和技术管道层均应设置火灾报警装置和自动灭火设施。
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