
| 爱德华、EDWARDS | 型号 | 真空泵18B4B |
概述
Edwards 18B4B 蒸汽增压泵以介于机械增压泵与扩散泵之间的压力提供高达 6000 l s-1 的更高抽速。Edwards 的蒸汽增压泵已在本领域经历了 30 多年的实践检验。通过持续的更新和现代化计划并汲取 OEM 和终用户的意见,加之其固有的可靠性、易用性和对各种不同进气口压力和排气压力的适应能力,这些增压泵广泛应用于冶金和镀膜行及其他门领域。
技术
蒸汽增压泵的运行方式与蒸汽扩散泵的运行方式类似,但除了具有环形喷射器外,它们还具有一个喷射器级,大大提高了泵的吞吐。这些泵的极限压力大约为 10-4 至 10-5 mbar 范围内,高于此压力时,泵对于气体表现出极高的抽速。由于临界前级压力较高,可使用相对较小的机械前级泵。这些泵可在 10-1 to 10-4 mbar 范围内使用,在此范围内,旋转泵会达到其极限,普通扩散泵则表现不稳定。
这些泵大多用于抽送受污染的系统和高负荷的氢气,从而适合在冶金和化学制程中应用。
应用
· 真空冶金
· 蒸馏、干燥和脱气
· 薄膜覆层和喷镀
· 大型研究活动
特性与势
· 高工作压力下实现极高抽速
· 工作压力下实现极高吞吐
· 快速转换实现出的抽气速度
· 已经过 40 多年行实践检验
· 出的可靠性
· 可以取代 Stokes 16" 液环射流增压泵
· 锅炉填注口便于进行清洁
· 技术数据
抽速(空气) | 4000 ls-1 |
抽速(氢气) | 6000 ls-1 |
大吞吐 | 100 mbar ls-1 / |
75 Torr ls-1 | |
临界前级压力 | 2-2.6 mbar / |
(带 AP201 液) | 1.5-2 Torr |
推荐前级泵排 | 190 m3h-1/ |
112 ft3min-1 | |
推荐的前级泵 | GXS450、E2M275 |
推荐的液体 | Apiezon® AP201 |
液体充填 | 10 l / 9.5 qt |
入口连接 | 387.4 PCD (Edwards) 上的 8x11mm / |
ANSI 12 英寸 / 320 | |
前级连接 | 2 英寸管接头 (Edwards) / |
ANSI 4 英寸 / 160 | |
水接头 | - |
加热器功率 | 6.0 kW/8 hp |
大加热器输入时,达到完全性能 | |
所需的预热时间 | 60 min |
小水流入口 | 375 l h-1(20oC 时) / 1.8 US gal min-1(20oC 时) |
水封螺纹 | ½ 英寸 BSP |
重 | 165 kg/365 lbs |
型号:EV20
价格:100000元
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型号:真空泵18B4B
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价格:100000元