Edwards真空泵615/爱德华真空泵615

Edwards 制程隔离增压泵适合与滑阀泵、液环泵、旋片泵和干真空泵结合使用，用于提高工作压力下的抽速并显著缩短抽气时间。这些制程隔离增压泵可单独安装，也可安装在前级泵的进气口上以形成一个紧凑的集成系统。

6" 制程隔离增压泵带有一个超大直径的轴，可作为一种极为坚固、耐用的机械增压泵与功率较高的电机结合使用。这样，这些泵可通过一台规格适宜的前级泵在大气压下满排运转。

除这些标准特性外，制程隔离增压泵还配备 5 个机械轴封，可在工作负荷较大的应用中有效地防止粉尘和颗粒污染物进入。

制程隔离增压泵必须由一台排放到大气压的主真空泵来支持。下面列出了适宜前级泵的例子：

GV Drystar 或 Drystar 化学干泵
双级 LR 系列液环泵
RV、EM 或 EVC 油封泵
Microvac 系列活塞泵
  
应将光轴 Superblower 与一条合适的 V 形皮带或直联式电机相连。请联系 Edwards 以获得建议。

功能和势

·         5 个机械轴封可延长 Stokes 6" 系列的使用寿命和提高其工作性能，以及防止来自粉尘和颗粒物的污染

·         Ringfeder^® 无键齿轮定系统可提供更强大和更快速的定时功能

·         传动端滚柱轴承可抵抗皮带拉力和热效应

·         超规格的减摩轴承延长了运转时间和检修时间间隔

·         水平气体流动配置

·         直接传动能力

·         经过验的坚固设计与结构

·         较大的轴直径提高了其在高压环境下的工作性能

·         运行噪音小

·         独特的叶轮设计可实现动态平衡以将振动降到低

·         高容积效率

·         高压力差提供了高运转能力

技术数据