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高纯氩气纯化设备概述氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气体,为了提高硅晶体的,如何选用较高纯度的氩气,是制作硅晶体的一个议题由于一般液氩汽化后未经过纯化处理,它的氧含一般在2ppm~5ppm。有时气体供应商提供的氩气超过了此范围,使用氩气的客户不知道其,所以往往给生产产品造成影响。有了氩气纯化装置后不论氩原料气的如何,只要经过纯化装置的处理后,进入拉晶炉的氩气,纯度始终是恒定的。 一般氧含小于0.5ppm,水分小于1ppm,这样稳定的氩气对生产晶体的是有保的。 是采用吸气剂。在一定温度下,吸气剂可吸收氮、氢、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等气体经吸收处理后,氩气的纯度可达到6个九,这种保护气体更适用于制作高纯度的半导体的单晶硅。 利用吸气剂纯化后氩气的纯度: O2≤0.2ppm H2≤0.5ppm N2≤1ppm CO+CO2≤0.5ppm CH4≤0.5ppm 水份≤1ppm 种方法设备投资小,设备中脱氧剂的使用寿命一般大于两年。 第二种方法设备纯化纯度高但投资相对较大,吸气剂使用寿命为一年。 :本公司也可根据客户要求,直接做高压的,这样可省掉使用模压机增压工序。 还可根据客户要求,配备分析仪在线时时检测设备中气体纯度。关键词:氩气净化机,氩气净化器,高纯氩气净化,高纯氩气净化设备,高纯氩气纯化设备,高纯氩气纯化装置,YAC系列氩气净化设备,全自动氩气纯化设备,大型氩气净化设备,硅材料行用氩气净化设备,硅材料用除氧、除水氩气纯化装置,气氩气净化设备,气氩气纯化器,气用高纯氩设备,单晶硅行用氩气除氧、干燥设备,多晶硅行用氩气除氧、干燥设备,高纯氩气提纯设备,氩气提纯机,高纯氩气过滤器。