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厂家直供AEL半导体湿法清洗设备

厂家直供AEL半导体湿法清洗设备

产品详情

晶圆:8”;

设备尺寸:1900(W) x 6460(L) x 2825H);

机械手;3~4套(视工艺而定),伺服系统;

化学品供应:CCSS直供;

独立HDIW供应系统;

温度:-25~85℃/;

体积:-36ℓ/min;

控制系统:PLC、工控机、触摸屏;

适用领域:半导体。

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