扩散炉供应 青岛晨立电子
- 型 号： CL
- 品 牌：晨立
- 价 格：1
- 产 能：1
- 起订：1
- 交货期：1
- 发布：青岛晨立电子有限公司
- 联系人：姜经理
- 主营：公司主要产品有：4"-8"扩散炉系列、真空炉系列、LPCVD系列、扩散炉炉体系列、温度控制器系列、链式隧道炉系列
- 电话：86-0532-88533525
- 手机：13869885308
- 地址：山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼
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产品详情
扩散炉系列
设备用途：用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光电器件、光导纤维等行的氧化、扩散、结、合金等工艺。
设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。
主要技术指标：
★炉管数：1～4管
★配工艺管口径：Φ90～360 mm（3～12英寸）
★恒温区长度：760～1000 mm±1.0℃（300～800℃）
760～1000 mm±0.5℃（800～1280℃）
★单点稳定性：±1.0℃／24h（300～800℃）
±0.5℃／24h（800～1280℃）
★气源路数：≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成器
★气体控制：浮子／流计
★悬臂舟参数：速度：20～1000 mm／min
大行程：2000 mm
精度：±1 mm
大载荷：17 Kg
★超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）
噪音：≤62dB（A）
振动：≤3μm
设备用途：用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光电器件、光导纤维等行的氧化、扩散、结、合金等工艺。
设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。
主要技术指标：
★炉管数：1～4管
★配工艺管口径：Φ90～360 mm（3～12英寸）
★恒温区长度：760～1000 mm±1.0℃（300～800℃）
760～1000 mm±0.5℃（800～1280℃）
★单点稳定性：±1.0℃／24h（300～800℃）
±0.5℃／24h（800～1280℃）
★气源路数：≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成器
★气体控制：浮子／流计
★悬臂舟参数：速度：20～1000 mm／min
大行程：2000 mm
精度：±1 mm
大载荷：17 Kg
★超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）
噪音：≤62dB（A）
振动：≤3μm
