智能气体流量控制器

产品型号

ＦＣＳ３３０Ａ

详细说明FCS-330A型气体流控制器是于MCS51系列单片机配合外围控制部件，通过对三路气体流计的控制，实现镀膜机充气系统全自动运行。本机可由用户编程设定，对反应气体随镀膜时间变化进行增减控制。通过RS485通讯，可连接上位控制机实现远程控制。以下对整机系统进行详细描述：一、FCS-330A气体流控制器安装：（图一）后面板示意图1拆包装后请检查以下物品是否：1)FCS-330A气体流控制一台2)三端电源线一条3)使用说明书一份4)RS485连接线（外控选用）一条5)对流控制器外观检查，机箱是否有破损松动等现象。2将电源线一端接流控制器，另一端接插到有良好接地线的插座上；3将D07-7B系列流计A连接线插头（D型插头）接FLUXA；4将D07-7B系列流计B连接线插头（D型插头）接FLUXB；5将D07-7B系列流计C连接线插头（D型插头）接FLUXC；6如需外部通讯控制，用连接线将RS485端口与上位控制机相连二、技术参数：1电源：AC220V-240V，50HZ2功率：50W3控制路数：3路4适配流计：七星华创D07-7B型，流范围：50-1000SCCM5适用环境：温度-10--45?C，相对湿度30%--85%；6安装尺寸：面板480(宽)?120(高)，机箱440(宽)?330(深)?120(高)三、系统功能描述：（图二）前面板示意图1、键盘操作说明：TIME在手动操作时为计时开关，在工艺设定时用于时间分和秒设定的切换FLUXA1)流计A开关，指示灯亮，流计A工作2)在设定时，PF01项中用于选择A路流是否在当前设定层中自增；3)在设定时，PF02项中用于选择A路气体是否自动运行。如选择A，在工艺自动运行时，流A不随程序设定变化，流A层设定中不等于0（为0则关闭）；FLUXB1)流计B开关，指示灯亮，流计B工作;2)在设定时，PF01项中用于选择B路流是否在当前设定层中自增；3)在设定时，PF02项中用于选择B路气体是否自动运行。如选择B，在工艺自动运行时，流B不随程序设定变化，流B层设定中不等于0（为0则关闭）；FLUXC1)流计C开关，指示灯亮，流计C工作;2)在设定时，PF01项中用于选择C路流是否在当前设定层中自增；3)在设定时，PF02项中用于选择C路气体是否自动运行，如选择C，在工艺自动运行时，流C不随程序设定变化，流C层设定中不等于0（为0则关闭）；SETUP设定键，用于工艺参数设定，按本键设定指示灯亮，“TIME”窗口显示PF01，L、R在工艺设定时，用于设置项之间的切换，R键用于从PF01到PF09项切换，L键用于从PF09向PF01项切换。+、-对应各操作项数值的加减调整，手动操作时对气体流进行调节，在工艺设定时，对工艺参数进行修改，注：对应的流如设定值为0，则工艺自动运行时，此层流计关闭；PRG工艺选择键，在工艺设定状态下，按下此键3秒，可在4种工艺之间选择一种作为运行工艺。每种工艺可设定30层CLN在手动操作状态下，按下此键3秒，指示灯亮，按FLUXA键（FLUXB键、FLUXC键），气体流为清洗状态，用较高浓度的气体清除空气，此键在工艺设定和工艺自动运行状态下不能操作RUN工艺自动运行键，按下此键，指示灯亮，仪器工作在工艺自动运行状态，控制器按用户预先设定好的程序，实现自动充气运行。此键在工艺设定状态下不能操作2、显示窗口说明：显示窗面板排布位置如（图二），显示内容及说明如下表：显示内容：PRGTIME（设定项）FLUXA显示FLUXB显示FLUXC显示LAYERLAYERTIMEFLUXA设定FLUXB设定FLUXB设定显示内容说明：PRG工艺序号显示窗口，用于显示当前工艺序号LAYER设定项目或工艺自动运行时，显示当前层数TIME1’上部窗口为正计时，手动操作和程序控制均可显示，手动操作显示运行时间，程序控制显示工艺运行总时间，在工艺设定时显示设置项。2’下部窗口为，在工艺自动运行时，显示当前层运行剩余时间FLUXA显示窗口显示流A反馈值，在设定状态下显示设定项目的参数项。FLUXB显示窗口显示流B反馈值FLUXC显示窗口显示流C反馈值FLUXA设定在手动状态或流A路手动时，显示流A手动设定值，在工艺自动运行时，显示当前层的设定流值。