嘉兴四氟化碳蚀刻气体cf4

四氟化碳UN: 1956 CAS NO:75-73-0，30kg/瓶 铜阀门QF-2，阀门型号：CGA660，出口螺纹：G5/8.CF4是不燃的无色无味的压缩气体，饱和蒸汽压力2000psig，是目前微电子工中用多的等离子蚀刻气体，可广泛用于硅，二氧化硅，氮化硅，磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻。在常温常压下为无色无臭有轻微味的气体。空气中不易燃，是比较稳定的无物。但是在高温时，或与可燃气体一同燃是，分解出有的氟化物。在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，激光技术，气相绝缘，低温制冷，泄漏检验剂，控制火箭姿态，印刷电路生产中的去污剂等方面也大使用。也可用于金属冶炼，铜，不锈钢，碳钢，铝蒙及尔，还用于塑料行。：0573-88450057传真：0573-88450057手机：18006607858Q Q：623523901