U53型超高纯气体不锈钢减压器

一、概述

U53 系列减压器适用于超高纯净气体应用，采用内部无螺纹、非焊接膜片结构。膜片和阀体的密封产用了硬密封
的设计，降低泄漏率，同时提高了安全性和使用寿命。

二、结 构 特 点 Features
u 316L
u 膜片式硬密封，泄漏率低
u 可采用面板安装和后座安装
u 压力表标准连接： 1/4” FSR (M)
可选：1/4” FSR (F)
u 内部电解抛光
u 为高纯净应用生产制造
u 高清洁的组装和包装将适用于高纯洁度的半导体产
u 使用寿命长
u 氦气测试
三、工 作 条 件 OpeRating Conditions
u 大的入口压力：300 psi (20 bar)
u 出口压力：0- 30 psi (2 bar)
u 温度： -18℃~60℃(0℉~140℉)
材 Materials
u 母体：316L，Hastelloy®
u 阀座：PCTFE
u 膜片：Elgiloy®，Hastelloy®
u 上盖：316，Hastelloy®

四、功 能 特 性 Functional Performance
u 流：Cv=0.054
u 母体泄漏率：2x10-8 atm cc/sec He
u 阀座泄漏率：4x10-8 atm cc/sec He
u 设计验压力：大额定压力的 150%
u 设计破压力：大额定压力的 400%

五、流 道 表 面 Surface Finish
u 标准 Ra 20μin
u 可选 Ra 10μin
内部容积 Internal Volume
u 9.3 cc

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