太阳能扩散炉

设备用途：

北京晶伏华控电子设备有限公司生产的：太阳能扩散炉供太阳能电池片生产线上156mm×156mm/125mmX125mm方片扩散、氧化、退火等工艺使用。具有四套独立的工艺炉管。 

产品描述：

◆关键件全部采用进口件，具有高可靠性。

◆采用PC作为控制机，对炉温、气体流、闸门动作进行自动控制，并管理全部工艺时序  

◆具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。

◆具有断电报*、超温报*、极限超温报*等多种安全保护功能。

◆控温精度好，温区控温稳定性好。

◆新型炉体设计结构，保工艺过程中温区温度的快速稳定，更适合于连续性大规模生产。

◆闭管式扩散系统更洁净、更环保。 

主要技术指标:    

◆工作温度： 300~1300℃
◆有效口径 根据用户扩散片确定，可订制
◆恒温区长度： 1080mm（可根据用户要求）
◆温区精度 (静态闭管测试)：
      600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃
      300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃
◆单点温度稳定性(静态闭管测试)：
      600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃/24h
      300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃/24h
◆温度斜变能力：
      大可控升温速度(300～1300℃)：15℃/min
      大降温速度(1300～900℃)： 5℃/min
◆气体流设定精度： ±2％FS
◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s
◆自动送料装置行程： ~2000mm
      速度： 5~1000mm/min
      SiC浆承重 19kg
◆装片数 400片/管
◆净化台洁净度 100级（10000级厂房）
◆三相五线制 380V±10%，50Hz±10%Hz；
◆冷却水： 2～4Kgf/cm2，～8L/min