供新型多晶硅12对棒还原炉

公司开发的多晶硅还原炉是用于生产多晶硅主流技术路线“改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法”中进行CVD反应生产高纯多晶硅的主体设备。

我们目前开发的多晶硅还原炉是钟罩式12对棒还原炉，主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜、混和气进气管、混和气尾气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管、电极冷却水进水管、电极冷却水出水管及其他附属部件组成。

炉体主体采用不锈钢材 SUS316L且进行抛光处理（增强炉内热漫反射，减少热辐射，节省能源），以减少设备材对产品的污染。

炉体外夹套采用不锈钢材SUS304，用来通冷却水或导热油，带走反应放出的热。

底盘采用不锈钢材SUS316L，底盘也有夹层，用来通入冷却水，以保护密封垫圈。电极由导电性能较好的紫铜材料制成，经过特殊设计、工艺处理，内部通过冷却水进行冷却，电极与载体用石墨夹头进行连接。

混和气进气管分为9个喷口（其中8个喷口均匀的设置在底盘上），在还原炉底盘二个圆周均匀布置12对电极，外一周布置8对电极，内一周布置4对电极，该种设计使还原炉内部结构布局合理，单台炉每批次产较现有还原炉有大幅度的提升，多晶硅的综合生产成本和能耗也相应降低。

本公司经营多晶硅还原炉，保，欢迎咨询洽谈。