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LED、LCM專用光阻與藍寶石機板高度尺寸檢測

LED、LCM專用光阻與藍寶石機板高度尺寸檢測

产品详情

 类型 白光干涉仪   TOMAS
 型号 SWIM 1510MS  品种 其他干涉仪
 测范围 150X100mm

 A.現今在LCM& LED業界在光阻(PR)與藍寶石機板(Satphire),檢測尺寸高度與外型之輪廓要求精度達1um,而業界均採SEM電子顯微鏡檢測, 但SEM電子顯微鏡檢查缺點為: 1.採破壞式檢查2.價格非常昂貴        B.我們力涌萍棘F今推出全新功能Tomas白光干涉檢查系統,取代SEM電子顯微鏡檢測缺點,更重要提供我們的專業,滿足所有客戶需求        C.範例如下:         

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