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Luphos非球面3D干涉仪

Luphos非球面3D干涉仪

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应用

LuphoScan可用于测任何旋转对称表面

的3D轮廓，比如凹面和凸面球面和非球

面透镜（无非球面度限制），以及一些自

由曲面等。

 

1）研究任何的旋转对称表面

球面，非球面，平面，自由曲面

2）超高测精度

PV精度50nm

3）快速测

对于Ф=85mm（ROC=50mm），测时间约12min，点密度100/mm2

4）非球面度

无限制

5）灵活性高

测分段表面，尖顶状表面或者矩形

6）大口径

高达350mm

7)几乎所有材料可测

抛光，粗糙，镜面，透明，不透明

 

 

 

 

 

 

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