微电子活性剂抛光液

微电子活性剂（3%～5%）            UPP/MS01
微电子活性剂（8%～12%）          UPP/MS02

产品简介

UPP/MS01、UPP/MS02型微电子活性剂是江苏天恒纳米科技股份有限公司生产的新一代半导体材料加工活性剂。它能有效将新加工表面的高能状态降低为低能状态，使得颗粒等污染物在表面控制在易清洗的物理吸附状态，而不向难清洗的化学吸附状态转化，并在表面形成保护层，防止污染物的二次吸附，实现了把有害吸附转化为无害吸附，是抛光、清洗工艺中不可缺少的添加剂。

主要特点

UPP/MS01、UPP/MS02型活性剂无金属离子、溶解于水，对金属离子有很强的螯合作用，且对碱溶液均有效，防止了碱、重金属离子沾污片子而影响器件的电学特性，便于制备高纯的半导体衬底镜面。与美、日产品相比，能有效去除镜面吸附微粒、有机物、金属离子等各种污染物，而且该产品粘度低、高效、环保、无、无腐蚀。主要用途
用于硅材料研磨、抛光、清洗工艺中控制粒子吸附状态，降低表面张力。