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TRICOM系列光栅掩模板：TRICOM长相位掩模板

TRICOM系列光栅掩模板：TRICOM长相位掩模板

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产品详情

 是否提供加工 是   TRICOM
 型号 TRICOM  种类 其他
 材料 其他  材料物理性 其他
 材料晶体结构 其他  制作工艺 其他
 输出 其他  防护等级 其他
 灵敏度 其他  分辩率 其他

长相位掩模板有一个100mm长的光栅结构，特别适合制作DWDM和散补偿用的光纤光栅。


产品特性
·100mm长的光栅结构
·应用领域包括散补偿和DWDM
·全息法制作，消除了间隙误差
                               
技术指标
参    数
数    值
工作波长
190-320nm
相位掩膜板周期
0.6-1.2um
模板周期的精度
±0.3nm(±0.1nm可以选择)
模板周期的测精确度
±0.02nm
板尺寸
15mm x 127mm
实际模板的栅结构尺寸
10mm x 100mm
残留啁啾(对均匀模板)
≤10pm/cm, 在90nm的中心区域
啁啾范围(对啁啾模板)
0.03nm/cm-30nm/cm
啁啾精度
±0.005nm/cm-1nm/cm(随啁啾改变)
线性啁啾的非现性
0.5%到35%(随啁啾改变)
衍射效率
0级衍射≤5%, ±1级衍射≥30%
光脉冲损害极限
1J/cm2, 50Hz@248nm
材料
人造石英
板平面
< 2um TIR, 两边
验收涂覆
可选
楔
< 30 arcsec
厚度
2.3mm±0.2mm
 

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