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硅材料碳氧测试仪

硅材料碳氧测试仪

产品详情

产品特点:1)适合于硅材料的氧、碳含的测定;2)可实现硅料中氧碳含自动、快速、准确的测;3)具备完整的谱图采集、光谱转换、光谱处理、光谱分析及输出功能,使得操作更简单、方便、灵活。4)全密封防潮、防尘干涉仪的设计使仪器对环境的适应能力更强。5)外置式红外光源部件的设计使得仪器具有更高的热学稳定性,无须动态调整具有稳定的干涉度。6)高强度红外光源采用球形反射装置,可获得均匀、稳定的红外辐射。7)程控增益放大电路、高精度A/D转换电路的设计及嵌入式微机的应用,提高了仪器的精度及可靠性;8)光谱仪与计算机间通过USB方式进行控制和数据通讯,完全实现即插即用。9)通用微机系统,全中文应用软件界面友好、内容丰富。10)样品固定架;11)高稳定性和抗震性;12)保期:12个月。技术参数:1)检测下限:1.0X1016cm-3(常温);2)检测硅料硅片厚度范围为:0.1~3.5mm;3)波数范围:7800cm-1~400cm-14)分辨率:于0.5 cm-15)波数精度:±0.01 cm-1(1) CZ-Si(直拉硅)中氧含精密度为±10%。(2) FZ-Si(区熔硅)中氧含精密度为±20%,检测下限为1×1016 cm-3 。“硅晶体中间隙氧含的红外吸收测方法”国家标准(GB/T 1557-89)的要求。6)扫描速度:0.2~2.5 cm/s,微机控制,选择不同的扫描速度,档次连续可调。7) 信噪比:于15,000:1(RMS值,在2100 cm-1 处,4 cm-1分辨率,DTGS探测器,1分钟数据采集。)8) 分数器:KBr片镀锗9) 探测器:标准配置DTGS,任选MCT10)光源:高强度空气冷却红外光源主要客户:锦州阳光能源、江苏天源、峨眉739、河北晶龙集团、无锡尚德、天津环欧等

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