微型气体质量流量计

广州迪川仪器仪表有限公司 TEL:020-85628522 020-85550363 FAX:02085628533gz-dichuan产品概述: FS4003流传感器，管道内径为3mm，成本低测范围大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。FS4008流传感器，管道内径为8mm，测范围大到50SLPM；产品特点: - 为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流测而设计 - 支持多种连接方式，易于安装与使用 - 传感芯片采用热流计，无需温度压力补偿，保了传感器的高精度计 - 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其程比达到了100:1甚至更高 - 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压 - 零点稳定度高 - 全程高稳定性、高精确度和良的重复性 - 低功耗、低压损 - 响应速度快 机械尺寸: 产品特点: 性能参数 FS4003 FS4008 单位 通 径 3 8 mm 大流 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM 程比 100:1 精 度 ±(1.5+0.2FS) % 重复性 0.75 % 零点输出飘移 ±30 mV 输出飘移 0.12 %/oC 响应时间 100 ms 工作电源 8~18Vdc,100mA 输出方式 线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc 大流压损 100 600 pa 大工作压力 0.5 MPa 工作温度 -10 ~ +55 oC 存储温度 -20 ~ +65 oC 工作湿度 <95%RH（无结、无凝露） 机械接口 BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头 校准方式 空气（或其他气体），20oC，101.325kPa 重 57（带R1/4,BSPT1/4接口）71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头)