全新的Precis 200是基于Micro-Metric的Innova晶圆测系统开发而来,采用了VMM 公司的设计和技术。
, 新款Precis 包含了很多可配置选项,使设备通用,耐用以及。
扩展了Z轴范围 – 2.5mm, 5mm or 100mm
透射照明
完整电子绘图 – 完全 SEMI S2 和 CE 标准
人体工程学的操作员控制台 ,带有隐藏键盘托盘, 可调节高度和角度的控制面板和显示器, SEMI S8
全自动显微镜,所有设置计算机控制
佳分辨率像素摄像头
VIEW Metrology Software (VMS) 可测组件很, 可选CAD导入 以及完整的几何尺寸和公差导入。
MMWin – 晶圆片 和Mask计软件 –晶圆片的重要尺寸和迭置重合测, 滑块 ABS,光掩模和平板显示器.
标准 可选
X,Y,Z行程(mm): 200 x 200 x 5 200 x 200 x 100
大载重: 12 kg
XY精度: E1=(0.25+2L/1000)um
Z 精度: E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)
分辨率: 0.01 微米
视场测精度和重复性:0.01 μm (100x)
直流伺服马达驱动
型号:Pinnacle+Plus
价格:电议
型号:Benchmark624
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型号:Benchmark XLT
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型号:SNAP DM 200
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型号:SNAP DM 350
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型号:CC-16 轮廓投影仪
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型号:SprintMVP 624
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型号:ZIP LITE 250
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型号:SmartScope ZIP LITE 300
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型号:CNC 250
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型号:Smartscope ZIP Advance 250
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型号:SmartScope ZIP 450
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型号:ZIP Advance 250
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型号:ZIP 300
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型号:探针
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型号:SmartProfile
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