美国QVI VIEW MicroLine 300工具显微镜

MicroLine-300是桌上型半自动CD测系统。
主要技术参数：
◆    测范围(XYZ)：标准：200×200×25mm；可选：300x300x25
◆    视场内测精度：10nm(100X 镜头)；Z轴聚焦范围：25 mm
◆    视场内测范围：0.5um~400um；
◆    视场内测重复性(100x 物镜)：  晶圆上<0.010um(1δ)； 
                                                    掩模板上0.005um(1δ)；   

◆    大承重：2kg

◆    标配镜头10x，可选镜头：5X, 20X, 50X, 100X