VCM光学轮廓系统

类型	白光干涉仪		美国
型号	VCM 光学轮廓系统

VCM光学轮廓系统（新）
用於快速掃描的轉盤式共軛焦技術

威科共軛焦測(VeeConfocalMetrology,VCM™)光學輪廓系統，結合新的共軛焦技術與奈米級高度測於易用的傳統顯微鏡。由於能做快速、非接觸的三維樣品測，並達到次微米級橫向解析度、奈米級縱向解析度，VCM輪廓儀提供高曲率或高斜率樣品分析一個理想的解決方案，並可測透明介值其下、或各種工程半透膜。


VCM光學輪廓儀有各種型蹋瑥氖謩幼郎闲偷饺詣恿慨a系統：
VCM150手動型，樣品大150mm（6吋）VCM200手動或自動型，樣品大200mm（8吋）VCM300手動或自動型，樣品大300mm（12吋） 
全視野的轉盤式共軛焦技術，提供精確的三維樣品測，以及獨特的即時"liveview"弁?lt;/span>可完整測陡坡，測角可達70度而不需做數值插點非接觸式的透明層分析，可對厚的穿透性材料、封裝元件或環境控制腔提供完整檢測。彈性、易用的Nikon金相顯微鏡平台提供領先業界的操作方式，可搭配明視野、暗視野與DIC技術