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白光干涉仪SWIM1510MS

白光干涉仪SWIM1510MS

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 是否提供加工 否  类型 白光干涉仪
  万濠  型号 SWIM 1510MS
 品种 散斑干涉仪  测范围 100um 400um
 测分辨率 0.1nm  近工作距离 150mm*100（mm）
 用途 晶体、平面电组件、IC封装、平面液晶显示器等……

白光干涉仪SWIM 1510MS

 

苏州万濠白光干涉仪

 

 

SWIM1510MS
产品特点及用途
     结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等点，可提供垂直扫描高度达400um的微三维测，适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含
● 晶体（Wafer）
● 光盘/硬蝶（DVD Disk/Hard Disk））
● 平面电组件（MEMS Components）
● 平面液晶显示器（LCD）
● 高密度线路印刷电路板（HDI PCB））
● IC封装（IC Package））
   以上其它材料分析与组件微表面研究
级的3D图形处理与分析软体（Post Topo）
●  提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析
●  提供自动表面平整化处理功能
●  提供高阶标准片的软件自校功能
●  深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式
●  线型分析方式提供直接追溯定义的表面粗糙度（Rorghness）与起伏度
●  （waviness）的测分析。可提供多达17种的测参数与4种额外测数据（Wafer）
●  区域分析方式提供图形分析与统计分析。
●  具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换（FFT）处理功能。
●  测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出
级的3D图形处理与分析软体（Post Topo）
● 系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹
● 垂直高度可达0.1nm
● 高度的分析算法则，让你不在苦候测结果
● 垂直扫描范围的设定轻松又容易
● 有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择
● 平台XYZ位置数显示，使检标的寻找快速又便利
● 具有手动/自动光强度调整功能以取得佳的干涉条纹对比。
● 具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测模式供选择。
● 具有利的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌。
● 具有自动布补点功能
● 可自行设定扫描方向
技术规格参数
型号SWIM1510MS
系统配备显微镜、扫描控制器、移动平台、取像单元、个人电脑
显微镜单眼显微镜(标准配件)
干涉物镜(选配)放大率10X   20X   50
视野( mm)0.5   0.25   0.1
光学解析度(mm)1.12  0.84   0.61
影像缩放1.0X(标配)   0.5X（选配）
垂直扫描控制器扫描范围100um   400um
扫描解析度0.1nm
扫描模式自动
光强度调整自动/手动
扫描速度12nm/s
样品移动平台X、Y平面移动平面150mm*100mm,手动(标准配件)
Z轴移动平台80mm,手动(标准配件)
位置数位显示单元三轴光学尺与三轴数位显示器(解析度 1um)
偏移调整平台手动
取像单元影像感测面型CCD(标准配件)
感测器解析度640*480(标准配件)
电脑配置Pentium-Computer ,17"LCD Monitor,120G以上硬盘
分析软体MS-Windows相容的资料撷取与分析软体 包含粗糙度/阶高分析，快速薄利叶转换和滤波，多样的2D和3D观测视角图，外形分析，图像缩放，标准影像档案格式转换等等
阶高标准片(选配)50nm170nm230nm470nm1800nm

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