直接热式流量控制器

V10FC直接热式MFC/MFM采用热式测原理，直接用两支快速反应的铠装传感器测气体流。由于没有层流元件，并采用哈氏合金传感器，V10FC可用于易结晶和腐蚀性的气体测。对低压管道或者压力损失小的应用，V10FC也同样适用。 V10FC直接热式MFC/MFM与其它差压原理的V10FC一样，具有三路流/压力/温度显示和输出功能。产品应用产品主要用于真空,镀膜,石油化工,煤炭冶金,制气配气,环保及各种分析,科研院所实验设备。 V10FC-R直接热式控制器产品特点● 直接热式原理，无层流元件● 无压损,抗结晶,抗腐蚀 ● 适用于各种低压和高压管道● 精确测和控制气体的流● 预热时间短,零漂小，可靠性高● 多种气体可选,也可自行输入技术参数技术指标 V10FC-RC流控制器 V10FC-RM流控制器程范围 小程:5SCCM～10SLM 中程:10SLM～30SLM 大程:30SLM～2000SLM控制范围 控制器20：1 流计20：1准 确 度 流：±3% 压力：0.5% 温度：±1℃线 性 ±0.5%重复精度 ±0.2%响应时间 100ms 10ms数 字 RS232/485，MODBUS协议模 拟 0～5V、4～20mA、1～5V供电 12V/24V/±15V可选工作温度 0～50℃工作压力 工作压差：0.03～0.5MPa 工作压降：<0.01Mpa大耐压 低压1MPa，中压3MPa，高压10MPa电气连接 DB15漏 率 1×10-9SCCSHe温度系数 ±0.015%/℃底座材 316L密封材料 氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶接 头 VCR1/4;swagelokφ6