单位简介
我公司销售美国矽翔微机电系统有限公司的气体流计,该流计是上生产具有自主、低功耗、超大程的EMES流传感器。与利封装技术和系统控制技术相结合,为流体测提供了全机全新的拓展空间。
在流芯片基础上制造的微功耗气体流计已获得了检部门颁发的计器具生产许可证及产品防爆认证。产品应用于工及商用燃气计、医疗麻醉与呼吸设备、供氧、制氧设备、工气体测及过程控制、环保等领域。在移动燃料电池等科技领域也有所贡献。
EMES流传感芯片,能根据用户的需求提供精确的在线流计.传感器芯片采用矽翔公司独特的MEMS制造,具有极高的性。传感器可测低至0.01m/s及高达65m/s的气体流速。门设计的电路具有微小信号处理功能以高精度输出。
MEMS流传感器的基本测原理是通过气体流产生的温度场变化来确定气体流速。当无气体流动时,传感器周围保持稳定的温度场分布。当气体流动时,温度场因为气体带走热导致局部温度分布变化,这种局部温度场的变化取决于气体介的及流速,集成在芯片上的传感器对此温度分布进行测,通过校准,门设计的信号处理电路和智能控制软件可得到所需要的流数据。由于不同的气体对热场的变化具有不同的影响,因而,所测的为流。流可根据需要换算成体积流及累计体积流。不同与传统的热式流计采用单一热传感器及热源来测热损耗并由此测气体的流,矽翔公司的流芯片是采用了多个传感器进一步减少了对环境的测的影响,从而完全无需压力补偿。
矽翔公司的流传感器是用大规模集成电路电路的生产方式制成的,它具有高度的一致性和性,从而在产品的校准和生产成本上具有的势。同时功耗也远低于现有的热式传感器,并具有较短的动态响应时间。在使用上更为准确,同时为更大规模的应用创造了条件。传感器芯片表面采用具有高度导热性能的陶瓷材料钝化处理,在灵敏度的同时避免传感器与气体介直接接触以其性。传感器的另一个不同于传统的热式传感器的特点是,由于其热源微小,采用插入式在相对而言大的流场中,在无气体流动时,传感器的热源对环境无影响,不会像传统的热式传感器一样造成气体的对流。因而,具有良的零点稳定性,传感器可采用多种形式的封闭,增加了其应用的性。
本公司也能根据客户的具体标求设计和产品,以满足客户的步同应用需求。