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多晶硅还原炉红外线加热灯管厂家

更新时间:2018-05-30 发布:天津浦潞泗科技有限公司

多晶硅还原炉IR加热管
传热面的形状: 管式 种类: 辐射加热设备
型号: 400V-7.5kw-2940mm 规格: 7.5kw-2940mm
商标: PLS 包装: 木箱
产量: 1000 PCS
 我司为国内首家研制出多晶硅还原炉红外灯管的厂家,打破多年国外产品的垄断,产品价格仅为国外产品的五分,同时品质上与国外产品几乎无异,为多晶硅企业节约大量的资金投入,使其产品更加具有市场竞争力。
一般网带式烧结炉采用电热丝作为加热元件,主要通过热传导对工件进行加热,无法实现急速升温。只有辐射或微波能够迅速加热物体,而辐射加热具有使用经济、安全可靠、更换方便等优点。所以多晶硅还原炉基本都采用红外石英灯管作为主要加热元件。它的设计使用需注意以下三个问题:
1、红外加热管的结构形式
为实现烧结段的温度尖峰,需在很短的炉膛空间内布置足够的加热功率。有短波孪管和短波单管两种结构可以选择,其线性功率密度均达到60kW/m2。短波孪管拥有更高的单根功率(相当于两根单管并联),但由于其制造工艺复杂,对石英玻璃管的质量要求更高,制造成本约是单管的2.5倍。
2、红外辐射吸收光谱
当红外辐射能量被工件吸收时,该物质所特有的吸收光谱需与发射光谱相匹配,才能在短时间内大效率地吸收辐射能。因此,在烧结的不同阶段,所选用的红外石英灯管也是不同的。在烘干段,要让有机溶剂和水分迅速挥发,采用中波管辅助热风加热是正确的;在预烧段,要让基片获得充分均匀的预热,中波管良好的红外辐射、均衡的吸收及穿透能力,正好符合要求;在烧结段,必须在极短时间内使基片达到共晶温度,只有短波管能做到这一点。
3、红外加热管的固定方式
烧结段的温度峰值在850℃左右,此时灯管的表面温度将达到1100℃,接近石英管的使用极限,稍微过热产生气孔就会立刻烧毁灯管。而在灯管的引出导线部位,由于焊接导线的金属片和石英玻璃密封在一起,二者热膨胀系数不一致,如果此处温度过高就会产生应力裂纹,造成灯管漏气。因此灯管在炉膛中的安装固定方式十分重要。红外灯管在炉膛中固定方式:要求灯管的冷端距离炉壁至少80mm以上,保证引出导线部位的温度不会过高;而且炉壁上安装孔的直径要比灯管大2~3mm,通过两侧的固定夹具将灯管悬空夹持在炉膛中。


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